MTI硅片测量仪

 硅片尺寸76-300 mm  高分辨率 LCD 显示  快速、易于设置的菜单

5点测量, 厚度变化量以及弯曲度测量 网口以及RS232电脑接口 前方的USB接口方便存储数据 可达1700μm的测量范围  

Proforma 300i

Proforma300Gi

Proforma 300

OEMi 1

精度2:

±0.25 μm

可重复性3:

±0.25 μm

分辨率:

0.05 μm

电压输入 (电压):

100 to 240VAC

电压输入 (频率):

50 to 60Hz

电力输入 (功率):

50 W

使用温度范围:

15 to 40oC

响应时间:

60ms

客户指定

尺寸(长x宽x高):

482x330x279 mm

483x388x89 mm

数据接口

RS232, 网口, USB, LCD

RS232, 网口

可支持的材料4:

Si

Ge

InP

GaAs

重量:

12.3 kg

12.4 kg

5.9 kg

  ProformaTM  300i – 手动晶圆测量工具

Proforma 300i使用MTI专有的快速、准确、可靠的非接触式PUSH-PULL电容探头。Proforma 300i可测量直径是300mm硅片的厚度, 总厚度变化以及弯曲度